Microsystemtechnik | Reinstraumtechnik – Auszug
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Konstruktion und Detaillierung folgender Baugruppen:
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Modifikation einer Laserschichtdickenmesseinrichtung (u.a. Siliziumscheiben)
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motorisierter Kreuztisch mit 90°- Dreheinheit für ein ISA-Mikroskop
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Neuaufnahme und Anpassung einer Analysekammer für Siliziumscheiben
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Z-Hub für Mikroskop, motorisch angetrieben, Positioniergenauigkeit 0,2 µm
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Handvorrichtung für die Montage von Speichermodulen
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X-Y Kreuztisch mit 90° Dreheinheit, Wiederholgenauigkeit 1 µm
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