Microsystemtechnik | Reinstraumtechnik – Auszug
Konstruktion und Detaillierung folgender Baugruppen:
- Modifikation einer Laserschichtdickenmesseinrichtung (u.a. Siliziumscheiben)
- motorisierter Kreuztisch mit 90°- Dreheinheit für ein ISA-Mikroskop
- Neuaufnahme und Anpassung einer Analysekammer für Siliziumscheiben
- Z-Hub für Mikroskop, motorisch angetrieben, Positioniergenauigkeit 0,2 µm
- Handvorrichtung für die Montage von Speichermodulen
- X-Y Kreuztisch mit 90° Dreheinheit, Wiederholgenauigkeit 1 µm
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